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製品情報

応用技術

ジャケットヒーター

ウエハーの大口径化に伴い、装置や配管も大型化が進み、配管温度を200℃以上に加熱させる 必要が出てきました。

配管加熱と配管メンテナンスの両立の為、脱着可能で配管加熱ヒーターとして「ジャケットヒーター」として製品化致しました。ステンレス配管などを効率よく、高断熱性=省エネに加熱するヒーターです。

当社製ジャケットヒーターは大型の配管や装置も効率良く加熱し、しかも耐熱性や安全性にも優れています。
当社製ジャケットヒーターはご要望に応じ、設計・作製を行います。 複雑形状や細配管にも対応可能です。

ジャケットヒーターとは ;

 工業用ヒーターであり、配管過熱用(〜800℃程度)です。脱着=取り外し 取り付け が容易なように、ジャケットのような構造を有しています。面ファスナー留め、ベルト留め、ホック留め、ボタン留め など各種選択可能です。

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製品例

ジャケットヒーター